等離子體對油脂污垢的作用，類似于使油脂污垢發(fā)生燃燒反應；但不同之處在于在低溫情況下發(fā)生的“燃燒”。在氧氣等離子體中的氧原子自由基，激發(fā)態(tài)的氧氣分子，電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子被氧化成水和二氧化碳分子，并從從物體表面被清(除)。可以看出，用等離子體清(除)油污的過程是一個使有(機)大分子逐步降解的過程，形成的是水喝二氧化碳等小分子，這些小分子以氣態(tài)形式被排除。
       等離子體清洗的另一個特點是在清洗完成之后物體已被徹底干燥。經過等離子體處理的物體表面往往形成許多新的活性基團，使物體表面發(fā)生“活(化)”而改變性能，可以大大改善物體表面的浸潤性能和黏著性能，這對許多材料是很重要的。因此等離子清洗具有許多用溶劑進行的濕法清洗所無法比擬的優(yōu)點。

       等離子體清洗由真空室，真空泵，高頻電源，電極，氣體導入系統，工件傳送系統和控制系統等部分組成。整個清洗過程大致如下；被清洗的工件送入真空式并加以固定，啟動運行裝置，開始排氣，使真空室內的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要幾分鐘。
       向真空室內引入等離子體清洗用的氣體，并保持腔內壓強穩(wěn)定。根據清洗材質的不同，可分貝使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等氣體。在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發(fā)生等離子化和產生等離子體，讓在真空室產生的等離子體完(全)籠罩住被處理工件，開始清洗作業(yè)，一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾十(分)鐘不等。清洗完畢后切斷電源，并通過真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出。
       等離子體清洗的另一個特點是在清洗完成之后物體已被徹底干燥。經過等離子體處理的物體表面往往形成許多新的活性基團，使物體表面發(fā)生“活(化)”而改變性能，可以大大改善物體表面的浸潤性能和黏著性能，這對許多材料是很重要的。因此等離子體清洗具有許多用溶劑進行的濕法清洗所無法比擬的優(yōu)點。與濕法清洗相比，等離子體清洗的優(yōu)勢表現在以下幾個方面：
       在經過等離子體清洗之后，被清洗物體已經很干燥，不必再經干燥處理即可送往下道工序。不使用三氯乙烷等有害污染物，屬于有利于環(huán)保的綠色清洗方式、用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同， 它的方向性不強，因此它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部并完成清洗任務，所以不必過多考慮被清洗物體形狀的影響。而且對這些難清洗部位的清洗效(果)與用氟利昂清洗的效(果)相似甚致更好。整個清洗工藝流程在幾分鐘內即可完成，因此具有產率高的特點。